※ PCB細線平行光LED手動曝光機，1mil解析度　 ※ 方形基板310mm*310mm，3%均勻性 LED曝光燈箱

半導體晶圓_LED曝光燈箱

觀看大圖

6吋UV LED曝光燈箱

1) 適用於接觸式及近接式曝光機
2) UV LED平行光源模組

光源:UV LED @ i-line
準直光: < 1.6度@ FWHM
高照度: 45mW/cm2 @ 6吋 (可接受60mW/cm2客製化)
均勻性: 95% (可接受97%客製化)
其它: 可接受客製化需求(照度、均勻性、曝光間距及工作距離)