睿璞系統公司(Raypro Systems Inc.),專注於UV LED平行曝光燈箱的技術開發與應用,針對半導體方形基板曝光製程應用,已成功自主開發出多種尺寸(4"、6"、8" & 12")高均勻性UVLED曝光燈箱,產品性能優異且品質穩定,滿足業界應用需求。
在現有半導體的技術與產品應用基礎上,睿璞系統推出新一代【Quadray】系列UV LED平行曝光燈箱,針對『方形基板』製程應用,提供業界更佳選擇。主要產品特性:
- UVLED光源: 免除傳統汞燈的缺點(光衰、耗能、維修 及 回收等)
- 高均勻性(3%): 比傳統的4~5%(不)均勻性,更能滿足更生產高良率的要求
- 高精準性平行光源: 1.0~1.5度
- 高可靠性: 光源保固一年
- 產品齊全: 4"~12"選擇性高
- 其它: 可接受客製化設計,滿足各類設備及製程需求。
現行Quadray標準產品系列包括:
1) 100mm x 100mm
2) 150mm x 150mm
3) 200mm x 200mm
4) 300mm x 300mm (or 310mm x 310mm)
歡迎舊雨新知聯絡洽詢,睿璞公司同時提供客製化產品選項,可滿足客戶製程上的需求,敬請採用。(0501)