※ PCB細線平行光LED手動曝光機，1mil解析度　 ※ 方形基板310mm*310mm，3%均勻性 LED曝光燈箱

半導體晶圓_LED曝光燈箱

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8吋UVLED曝光燈箱

1) 適用於接觸式及近接式曝光機
2) UV LED平行光源燈箱

光源:UV LED @ i-line
準直光: < 1.6度@ FWHM
可以選擇單波段或多波段應用
高照度: 25mW/cm2 @ 8吋 (可接受35mW/cm2客製化)
均勻性: 95% (可接受97%客製化)
其它: 可接受客製化需求(照度、均勻性、曝光間距 &工作距離等)