UV曝光灯模组 观看大图 5 6寸UV LED曝光灯箱 1) 接触式曝光机改机 2) UV LED曝光光源模组 3) Mask Aligner Light Box 光源:UV LED 曝光波段: i/g/h-Line 准直光: < 2.5度@ FWHM 可以选择单波段或多波段应用 高照度: 45mW/cm2 @ 6寸 (可接受60mW/cm2客制化) 均匀性: 95% (可接受97%客制化) 1342866