※ PCB细线平行光LED手动曝光机，1mil解析度　 ※ 方形基板310mm*310mm，3%均匀性 LED曝光灯箱

半导体晶圆_LED曝光灯箱

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6寸UV LED曝光灯箱

1) 适用於接触式及近接式曝光机
2) UV LED平行光源模组

光源:UV LED @ i-line
准直光: < 1.6度@ FWHM
高照度: 45mW/cm2 @ 6寸 (可接受60mW/cm2客制化)
均匀性: 95% (可接受97%客制化)
其它: 可接受客制化需求(照度、均匀性、曝光间距及工作距离)