睿璞系统公司(Raypro Systems Inc.),专注於UV LED平行曝光灯箱的技术开发与应用,针对半导体方形基板曝光制程应用,已成功自主开发出多种尺寸(4"、6"、8" & 12")高均匀性UVLED曝光灯箱,产品性能优异且品质稳定,满足业界应用需求。
在现有半导体的技术与产品应用基础上,睿璞系统推出新一代【Quadray】系列UV LED平行曝光灯箱,针对『方形基板』制程应用,提供业界更佳选择。主要产品特性:
- UVLED光源: 免除传统汞灯的缺点(光衰、耗能、维修 及 回收等)
- 高均匀性(3%): 比传统的4~5%(不)均匀性,更能满足更生产高良率的要求
- 高精准性平行光源: 1.0~1.5度
- 高可靠性: 光源保固一年
- 产品齐全: 4"~12"选择性高
- 其它: 可接受客制化设计,满足各类设备及制程需求。
现行Quadray标准产品系列包括:
1) 100mm x 100mm
2) 150mm x 150mm
3) 200mm x 200mm
4) 300mm x 300mm (or 310mm x 310mm)
欢迎旧雨新知联络洽询,睿璞公司同时提供客制化产品选项,可满足客户制程上的需求,敬请采用。(0501)
