【新產品】※ PCB曝光用LED平行光燈箱，解析度達1mil　 ※ 12吋UVLED曝光燈箱

UV曝光燈模組

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6吋UV LED曝光燈箱

1) 接觸式曝光機改機
2) UV LED曝光光源模組
3) Mask Aligner Light Box

光源:UV LED
曝光波段: i/g/h-Line
準直光: < 2.5度@ FWHM
可以選擇單波段或多波段應用
高照度: 45mW/cm2 @ 6吋 (可接受60mW/cm2客製化)
均勻性: 95% (可接受97%客製化)